石墨烯制备装备 Equipments

BGI装备研发中心以放大各种实验室小试阶段成功的薄膜材料制备技术为基础，开发多种规格石墨烯材料大批量、工业化制备技术。根据市场需求，推出基于不同应用领域及终端市场的新型装备，推动石墨烯产业和高端智能装备产业的共同进步。

The BGI Equipment R&D Center has developed different types of equipment which according to the market demands  in various application fields.

石墨烯薄膜材料自动化检测设备

CVD graphene automatic testing equipment

最大测量面积∶50x50（cm）

Max testing area：50 cm × 50 cm   

可同步获取石墨烯薄膜的光学透光率和面电阻

Simultaneously obtain transmittance and sheet resistance data

可实现面扫描式的多点快速测量

Surface scanning multi-point fast test

可实时输出石墨烯薄膜材料参数数据，并显示云图

Real-time data output, with cloud images

A3尺寸石墨烯薄膜批量制备装备

Large Size CVD Graphene Growth System

使用温度∶RT-1150℃

样品尺寸∶29.7×42（（cm²）

单晶畴区尺寸∶>500μm

用于实现大单晶畴区石墨烯薄膜的快速批量制备

单晶石墨烯晶圆炉

使用温度∶RT-1150℃

样品尺寸∶4英寸、6英寸

用于生长4、6英寸单晶石墨烯晶圆

通用石墨烯薄膜电化学鼓泡分离装备

Graphene Transfer Equipment

最大处理尺寸∶29.7×42（cm）

装备优势∶10分钟内即可实现石墨烯与金属生长衬底的快速无损分离